时间：2022-05-10 10:44:27
据我们测算，三座典型晶圆厂设备国产化率总体在15%左右（按照设备台数占比，下同），其中长江存储、华虹无锡、华力集成设备国产化率分别为、15%、。横向对比而言，长江存储在设备国产化方面较为积极，部分原因是IDM模式的设备选择自主性相对高于晶圆厂代工厂；华虹无锡与华力集成同属于华虹集团，华虹无锡各类型设备国产化率大多高于华力集成，或主要由于华虹无锡90nm~55nm的成熟制程相较于华力集成相对先进的制程更易于推进设备国产化。
总结：离子注入设备方面，烁科中科信在华虹无锡、华力集成均获得中标，中标设备均为中束流离子注入设备。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数2台，晶圆厂招标设备总数139台，由此计算国产化率约1.4%，该领域尚存在较大国内外差距，替代空间广阔。
总结：离子注入设备方面，烁科中科信在华虹无锡、华力集成均获得中标，中标设备均为中束流离子注入设备。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 2 台，晶圆厂招标设备总数 139 台，由此计算国产化率约 1.4%，该领域尚存在较大国内外差距，替代空间广阔。
在这份首批“白名单”目录里，至少六十多家公司与集成电路紧密相关，中芯国际旗下复产的有中芯国际集成电路制造（上海）有限公司与中芯南方集成电路制造有限公司，上海华虹被列入名单的就有华虹宏力半导体制造有限公司、上海华力微电子有限公司以及上海华力集成电路制造有限公司......包括芯片材料、封测、设备和代工制造等重点企业，可以看出，集成电路在这份名单里的优先级与汽车制造同样重要。
据了解，上海科创集团已投资的半导体领域项目有：中微公司、上海微电子、中芯国际，中芯南方，中芯东方，上海华力微电子，上海华力集成电路制造，积塔半导体，南芯半导体，盛美半导体，紫光展锐，上海超硅，恒玄科技，兆芯，复旦微电子，格科微电子,安路科技、英韧科技、鸿之微、上海微松、隐冠半导体、阿卡思微电子、和辉光电、格科微、芯和半导体等。
集成电路行业方面，至少有62家企业进入白名单，包括上海集成电路装备材料产业创新中心、华力集成、华虹半导体、盛美上海、上海先进半导体等。除了因集成电路产业外，部分企业申请保障的原因还涉及战略功能和经济支撑类（集成电路产业连续生产型企业），如华虹半导体、上海先进半导体、中芯国际等。
目前，集成电路制造前道晶圆加工领域用清洗设备主要被日本迪恩士（DNS）等厂商所垄断。通过持续的改进、优化，公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用清洗机SpinScrubber设备的各项指标均得到明显改善或提升，已经达到国际先进水平并成功实现进口替代。该类设备已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证，并在报告期内获得国内多家Fab厂商的批量重复订单。