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动态模式下,高能离子束溅射和质谱检测

时间:2022-02-17 16:14:34

动态模式下,高能离子束溅射和质谱检测同时交替进行,样品表面的原子层会被层层剥离,每一层被剥离出的二次离子都会被收集检测。静态SIMS的软电离通常用于分析有机物表面,或者用于分析基体表面,动态则是在一定微区和纵深范围内得到样品元素组成的三维空间分布情况。微源检测拥有德国ION-TOF的先进TOF-SIMS仪器,可以提供SIMS检测服务技术解决方案。下图为团簇离子源深度剖析(高分子有机材料膜层结构剖析)案例图,从下左图中可以显而易见的观察到不同质荷比的物质在不同溅射时间(溅射深度)下的分布情况,下右图则为三维空间成像,更加直观的反映了元素、团簇的空间分布。

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